系統(tǒng)技術指標及性能

1）8英寸半自動毫米波射頻探針臺，寬大的測試空間，能對芯片、chip及器件進行測試；?

2）系統(tǒng)可滿足高達110GHz頻率范圍的雙端口器件芯片測試要求，并能夠?qū)崿F(xiàn)與指定的擴頻模塊很好的搭載和測量；系統(tǒng)可測試67G以下雙端口器件；可做四端口直流測試；?

3）可以實現(xiàn)通過軟件對晶片載臺X, Y, Z, Theta 四個方向的移動全程控制。設備控制軟件可以提供自動晶片水平校準，自動器件尺寸測量，自動移動誤差補償，遠程控制等自動化功能；?

4）載物臺可被拉出工作臺98%，便于放置被測件；且臺面拉桿可在任意角度停留，方便扎針測試；

5）載物臺X-Y方向：1μm (0.04 mils)分辨率、小于2μm 重復精度、大于50mm/sec的移動速度；Z方向：5mm的移動范圍、1μm分辨率、小于1μm 重復精度；Theta方向：轉(zhuǎn)動角度范圍+/-5.5度；

6）平坦度誤差優(yōu)于30um；芯片載臺帶有兩個獨立的附加小載臺，方便放置射頻校準片；

7）ATT八英寸-60℃到+300℃溫度控制器.

8）溫度控制精確度：±0.1攝氏度；晶片載臺溫度均勻度小于1%；降溫速度：-60℃到25℃≤7 min；25℃到300℃≤30 min；300℃到25℃≤18 min；25℃到-60℃≤18 min； ?

9）高穩(wěn)定支架的顯微鏡結構，顯微鏡移動范圍：2 英寸 X 2 英寸；放大倍率 50 倍到750 倍連續(xù)可變；機臺控制器，Window 7/10操作系統(tǒng)，內(nèi)置影像截取卡用于顯示顯微鏡圖像；?

10）配置先進的微暗室技術，確保良好的測試環(huán)境

11）射頻探針座采用高穩(wěn)定機械固定方式，精度：手動; X、Y、Z軸定位精度2um, X、Y軸移動范圍：12cm x 12cm；?

12）配套LRRM校準模式的自動射頻校準軟件；?

13）配套供放置探針臺使用的重型防震平臺及真空泵等設備，系統(tǒng)運行穩(wěn)定；?

?